晶盛机电重大突破:12英寸碳化硅衬底中试线成功启动

晶盛机电最新公告显示,其子公司浙江晶瑞SuperSiC于9月26日顺利实现了国内首条12英寸碳化硅衬底加工中试线的正式投产。该中试线整合了从晶体预处理到成品检验的全套工艺链,具体涉及切割、减薄、倒角、研磨、抛光、清洗及检测等关键工序。此次通线标志着晶盛机电在12英寸碳化硅衬底领域,从设备研发到材料供应形成了完整的产业生态闭环。

发布于 2025-09-26 22:26:45
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